Transparent ZnO Transistor Array by Means of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition

Kopa ,  k ,  Sang-Hee 외 8명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2006 .01

Atomic Layer Deposition법에 의한 Al-doped ZnO Films의 전기적 및 광학적 특성

안하림 ,  백성호 ,  박일규 외 1명

한국재료학회지

2013 .01

원자층 증착법(Atomic Layer Deposition)에 의해 성장된 단말장치용 ZnO 투명 전도 박막 특성

박현식

정보 및 제어 논문집

2012 .10

Atomic Layer Deposition for Displays Applications

최동원 ,  박진성

인포메이션 디스플레이

2013 .01

Effects of Hf addition in thin-film-transistors using Hf-Zn-O channel layers deposited by atomic layer deposition

김소희 ,  안철현 ,  조형균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

Effect of Channel Scaling on Zinc Oxide Thin-Film Transistor Prepared by Atomic Layer Deposition

최운섭

Transactions on Electrical and Electronic Materials

2010 .01

원자층 증착법을 이용하여 투명 Polymide 필름에 증착된 Al₂O₃ / ZnO 다층박막의 표면특성 평가

이명엽 ,  최병호 ,  이경범

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

The growth of superlattice IGZO thin films using ZnO buffer layer grown by thermal atomic layer deposition

조성운 ,  조형균

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .05

PLD법을 이용한 Buffer Layer 증착온도에 따른 As-doped ZnO 박막의 특성

오영제 ,  이홍찬 ,  심광보

센서학회지

2006 .01

연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

다양한 박막 형성법을 사용한 ZnO 전자 추출층이 역구조 고분자 태양전지에 미치는 영향 연구

이동구 ,  노승욱 ,  성명모 외 1명

Current Photovoltaic Research

2013 .06

원자층 증착법으로 성장된 ZnO 박막의 질소 도핑에 대한 연구

김도영

전기전자재료학회논문지

2014 .01

As 도핑된 p형 ZnO 박막의 특성 분석

김동림 ,  김건희 ,  장현우 외 2명

대한전기학회 학술대회 논문집

2006 .10

Characterization of ZnO for Transparent Thin Film Transistor by Injection Type Delivery System of ALD

Choi ,  Woon-Seop

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2007 .01

후속 열처리에 따른 ZnO 박막 특성 연구

김초롱 ,  이재엽 ,  임재영 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Characterization of Thin Films deposited at Low Temperature by using Atomic Layer Deposition and E-beam Evaporation

Jeong Hwan Kim ,  Sung-Woong Lee ,  Jae-Sung Yoo 외 1명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2014 .09

Performance of Zn-based oxide thin film transistors with buried layers grown by atomic layer deposition

안철현 ,  이상렬 ,  조형균

한국재료학회 학술발표대회

2012 .01