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저자정보
김초롱 (인제대학교 나노시스템공학과) 이재엽 (인제대학교 나노시스템공학과) 임재영 (인제대학교 나노시스템공학과) 류혁현 (인제대학교 나노시스템공학과) 장지호 (한국 해양대학교 나노데이터시스템 학부) 이홍찬 (한국 해양대학교 선박전자기계공학부)
저널정보
한국재료학회 한국재료학회 학술발표대회 한국재료학회 2007년도 추계학술발표대회 및
발행연도
2007.1
수록면
452 - 452 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

$Al_2O_3/Si$ (100) buffer layer위에 증착된 ZnO 박막의 후속 열처리에 따른 특성 변화
김초롱 ,  이재엽 ,  임재영 외 1명 한국재료학회 학술발표대회 2007.01 학술대회자료
후속 열처리에 따른 ZnO 박막 특성 연구
김초롱 ,  이재엽 ,  임재영 외 3명 한국재료학회 학술발표대회 2007.01 학술대회자료

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#원자층 증착 방법 #열처리 #ZnO #atomic layer deposition

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