기계적 펌프 기반의 축전 결합형 $BCl_3/N_2$와 $Cl_2/N_2$ 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식식각 비교

김재권 ,  노호섭 ,  주영우 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

2007 .01

저진공 축전 결합형 BCl/N 플라즈마를 이용한 GaAs의 건식 식각

김재권 ,  박주홍 ,  이성현 외 5명

한국재료학회지

2009 .01

$BCl_3$ 와 $BCl_3/Ar$ 유도결합 플라즈마에 따른 GaAs 건식식각 비교

임완태 ,  백인규 ,  이제원 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2003 .01

평판형 유도결합 $BCL_3/CF_4$ 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 건식

유승열 ,  장수욱 ,  박민영 외 9명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

GaAs / A 1 GaAs양자우물을 이용한 이온건식식각의 Damage 평가 ( Evaluation of Damage Introduced by Reactive Ion Etch Using GaAs/AlGaAs Quantum Well )

김현태 ,  마동성 ,  J. Motohisa 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1989 .01

평판형 유도결합 BCl₃/SF₆플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 선택적 식각에 관한 연구

유승열 ,  임완태 ,  백인규 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11

BCl 평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs 건식식각

임완태 ,  백인규 ,  정필구 외 4명

한국재료학회지

2003 .01

2단계 건식식각에 의한 GaAs Via-Hole 형성 공정 ( A Via-Hole Process for GaAs MMIC`s using Two-Step Dry Etching )

정문식 ,  김흥락 ,  이지은 외 2명

전자공학회논문지-A

1993 .01

Laser Direct Dry Etching for Al_0.3Ga_0.7/GaAs Multi-layer Structures

Se-Ki Pa ,  k ,  Cheon Lee 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1996 .07

PECVD방법으로 형성한 $W_{67}N_{33}$/GaAs구조의 열적 특성

이세정 ,  홍종성 ,  이창우 외 3명

한국재료학회지

1993 .01

평판형 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 및 GaAs/InGaP 의 선택적 및 비선택적 건식식각의 비교

박민영 ,  최충기 ,  류현우 외 12명

한국재료학회 학술발표대회

2005 .01

BCI₃ 기반 가스를 이용한 GaAs의 고밀도 평판형 유도결합 플라즈마 식각

임완태 ,  백인규 ,  유승열 외 5명

한국표면공학회지

2003 .10

Downstream 誘導形 반응기의 제작 및 CF₄/O₂ 플라즈마를 이용한 a-Si:H의 식각

박상준 ,  강석진 ,  최시영

대한전자공학회 학술대회

1992 .06

BCl및 BCl/Ar 고밀도 유도결합 플라즈마를 이용한 GaAs와 AlGaS 반도체 소자의 건식식각

임완태 ,  백인규 ,  이제원 외 2명

한국재료학회지

2003 .01

저 유전 재료의 에칭 공정을 위한 H₂/N₂ 가스를 이용한 Capacitively Coupled Plasma 시뮬레이션

孫采化

전기학회논문지 C

2006 .12

GaAs Technology

김철규

대한전자공학회 학술대회

1988 .01

Latest Trend in Capacitively Coupled Discharges in Plasma Processing

Jong W. Shon

한국표면공학회 Workshop

2004 .11

Co/GaAs 계면 반응에 미치는 GaAs 기판의 표면처리 영향

신동원 ,  박찬경 ,  곽준섭 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1994 .01

플라즈마를 이용한 GaAs 반응성 이온 식각

이성현 ,  노호섭 ,  최경훈 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01

플라즈마 식각 조건이 게이트 산화막의 손상에 미치는 영향

김정호 ,  이석현 ,  신기수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .07