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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
한창호 (서울대학교 전기공학부) 김학 (서울대학교 전기공학부) 전국진 (서울대학교 전기공학부)
저널정보
한국반도체디스플레이기술학회 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 한국반도체및디스플레이장비학회 2003년도 추계학술대회 발표 논문집
발행연도
2003.1
수록면
82 - 85 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

노광파장과 근접거리에 따른 두꺼운 감광막의 측면기울기 변화에 관한 연구
한창호 ,  김학 ,  김현철 외 1명 반도체및디스플레이장비학회지 2004.01 학술저널

2003

두꺼운 감광막의 노광 파장에 따른 측면 기울기에 관한 연구
한창호 ,  김학 ,  전국진 한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회 2003.01 학술대회자료

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MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 응용 분야에 있어서 RF나 Optic등에 응용되는 금속 구조물이나 배선을 위한 도금, 두꺼운 구조물의 식각등을 위해서 수십 um두께의 감광막이 필요하다. 특히 이러한 감광막은 도금을 위한 전단계에서 몰드 형성에 이용되는데 그 이유는 제작이 용이할 뿐만 아니라 다양한 두께 형성이 가능하고 금속과의 선택적 제거가 쉬운 장점이 있다. 감광막 몰드가 갖추어야 할 조건으로는 수직에 가까운 측면 기울기, 두께, 도금액에 대찬 저항성을 들 수 있으며 그 중에서 측면 기울기 개선에 관한 연구가 많이 진행되고 있다. 본 논문에서는 감광막의 형상에 영향을 주는 요인을 찾아내고 수식모델링을 통해 측면 기울기를 예측하고자 한다.

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