PE-ALD를 이용한 SnO Thin Film의 특성

박용주 ,  이운영 ,  최용국 외 2명

한국재료학회지

2004 .01

ALD 이용하여 Cu₂O 증착된 SnO₂ 나노섬유의 가스 감응 특성

김진영 ,  이재형 ,  김재훈 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

PE-CVD 및 ALD를 이용한 유기발광소자의 박막 봉지제작과 특성

김동은 ,  변창섭 ,  노태용 외 1명

대한전기학회 학술대회 논문집

2011 .11

원자층증착 기술: 개요 및 응용분야

신석윤 ,  함기열 ,  전희영 외 3명

한국재료학회지

2013 .01

SnO/Sn 혼합 타겟을 이용한 SnO 박막 제조 및 특성

김철 ,  김성동 ,  김은경

한국재료학회지

2016 .01

박막형 $SnO_2$ 가스센서의 특성에 미치는 박막미세구조의 영향

김종민 ,  이병택

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

NO 감지용 SnO 후막소자의 제작 및 특성

손종락 ,  한종수

공업화학

1997 .01

전자빔 표면개질을 이용한 SnO₂/Ni/SnO₂ 투명전극 박막의 전기광학적 특성 개선 연구

최민욱 ,  구강모 ,  심도연 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

원자 단위 생산 기술로서의 ALD 공정 고찰

심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

가스센서 SnO₂ 박막의 광역평탄화 특성

최권우 ,  이우선 ,  박정민 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2004 .07

SnO2-x 박막에 대한 Pt 첨가의 영향 ( Effects of Pt Addition to SnO2-x Thin Films )

정완영 ,  이덕동

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

원자층 증착법을 이용한 고 단차 Co 박막 증착 및 실리사이드 공정 연구

송정규 ,  박주상 ,  이한보람 외 2명

한국재료학회 학술발표대회

2012 .01

ALD 공정을 이용한 폴리카보네이트 기판의 Zinc Oxide 박막증착 특성분석

이경범 ,  최병호 ,  한권덕 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2014 .05

스퍼터링법으로 증착된 SnO₂ 박막의 수소 플라즈마 처리에 의한 전기적, 구조적 특성 영향

김혜리 ,  김동호 ,  이건환 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2010 .11

ALD enabled Functional Nano Thin Films for Improved Performance of Energy Devices

권세훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .06

Preparation and properties of SnO₂/Al/SnO₂ multi-layer thin films deposited by Sputtering

Keun Young Pa ,  k ,  Sung Jae Kim 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2013 .11

$SnO_2$박막을 이용한 농업환경 계측용 가스 센서 개발

최용삼 ,  정재호 ,  김대승 외 1명

한국농업기계학회 학술발표논문집

1999 .01

박막태양전지 확산방지막용 SnO₂ 박막의 열처리 특성

백주열 ,  김경민 ,  신재혁 외 4명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2001 .06

어닐링처리시킨 SnO₂ 가스센서의 박막성장특성

강계명 ,  최종운

한국표면공학회지

2007 .12

Low Temperature Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition Cobalt

김재민 ,  김형준

한국재료학회 학술발표대회

2009 .01