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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.6
- 수록면
- 97 - 101 (5page)
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Intrinsic layer's role is very big in solar cell of high effectiveness. This experiment produces (n+)-Si/(SiGe)-Si/p-Si(100) structure. Used RF magnetron sputtering film grow in an experiment. State and cell of n-i-p structure consisted of grown film measured biographical special quality. We have this experiment sequence and searched problem and supplement point, and we decided target chart if will experiment forward how.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 실험결과
4. 결론
후기
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