FinFET 구조 변화에 의한 Self Heating Effect 분석

박진수; 윤건주; 김재민; 이준신

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저자정보: 박진수 (Sungkyunkwan University) 윤건주 (Sungkyunkwan University) 김재민 (Sungkyunkwan University) 이준신 (Sungkyunkwan University)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제58회 동계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2020.2

수록면: 236 - 236 (1page)

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#Bulk FinFET #Hot carrier effect #Impact ionization #Drain avalanche hot carrier #Channel hot electron

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논문수 12 이용수 569

윤건주

소속기관 성균관대학교

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 재료·에너지공학 > 기타 재료·에너지공학

논문수 21 이용수 678

김재민

소속기관 Sungkyunkwan University

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 137

이준신

소속기관 Sungkyunkwan University

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 137

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