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플라즈마 진단 센서를 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
플라즈마 변수들과 웨이퍼 표면온도의 공간상 분포에 대한 상관관계
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
What do we know about plasma?
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
플라즈마 생활건강(Plasma Life-Health)
진공이야기
2020 .06
고열부하시험장비를 이용한 핵융합 플라즈마 대면부품 냉각 성능 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
캐패시턴스 변화를 이용한 진공 플라즈마 실시간 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
핵융합로 플라즈마 대면부품 개발을 위한 고열부하시험장비 성능 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
In-situ PEALD process monitoring using high-speed optical plasma monitoring system
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
플라즈마 전기적 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험
한국진공학회 학술발표회초록집
2021 .02
Experimental investigation on the plasma generation efficiency and plasma parameters in inductively coupled plasmas with a serial and a parallel antenna
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
Plasma 모델링과 시뮬레이션을 위한 웹기반 Plasma Chemistry 데이터베이스
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
The effect of gas flow on the substrate temperature distribution in an inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
레이저를 이용한 N₂ 플라즈마 쉬스 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
시간별 1일 부하변동을 고려한 에스컬레이터 시스템의 에너지 측정 및 추정
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2020 .11
컴퓨터 기반 플라즈마 진단 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
0.4 MW 급 분절형 아크 히터 플라즈마 풍동의 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
플라즈마 방출광 진단을 이용한 플라즈마 진단 및 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .02
낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
반사계의 위상차 변화를 이용한 플라즈마 상태 측정 시스템
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
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