초고주파 (162 MHz) 다중 분할 전극 플라즈마 소스를 이용한 silicon nitride PEALD 공정연구

지유진 ,  김기석 ,  김기현 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride films using a VHF (162 ㎒) multi-tile push-pull plasma source

You Jin Ji ,  Ki Hyun Kim ,  Ki Seok Kim 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

플라즈마 진단 센서를 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 시스템

온범수 ,  신기원 ,  이태현 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .08

방사성물질 측정망 현황 및 하천·호소 내 인공방사성물질 (¹³⁴Cs, ¹³⁷Cs, ¹³¹I) 조사

김지유 ,  정현지 ,  안미정 외 8명

분석과학

2015 .12

Correction Factors for Outdoor Concentrations of PM_2.5 Measured with Portable Real-time Monitors Compared with Gravimetric Methods: Results from South Korea

Dong-min Yun ,  Myeong-bok Kim ,  Jun-bok Lee 외 6명

한국환경과학회지

2015 .12

Enhancement of the Virtual Metrology Performance for Plasma-assisted Processes by Using Plasma Information (PI) Parameters

Seolhye Pa ,  k ,  Juyoung Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Plasma enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using a VHF (162 MHz) plasma source

You Jin Ji ,  Ki Hyun Kim ,  Ki Seok Kim 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

A Brief Review of Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition of Si₃N₄

You Jin Ji ,  Ki Seok Kim ,  Ki Hyun Kim 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2019 .09

낮은 GWP를 가진 CxF2xO 을 이용한 SiO2 식각 공정 특성에 관한 연구

탁현우 ,  문룡 ,  성다인 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Electrical Characteristic and Optical Diagnosis for Atmospheric Direct Plasma Jet

Seong In Hong ,  B. Ghimi ,  e 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

다변량 분석기법을 통한 플라즈마 공정 모니터링 기술

장해규 ,  고경범 ,  이호녕 외 1명

진공이야기

2015 .12

Study of Nitrogen Plasma Treatment on Indium Tin Oxide Thin Films

Ji-Won Jang ,  Hyeok Jee ,  Hye-Won Seo

새물리

2020 .01

Investigation of the Interface Effects in Magnetic Thin Films: In Situ vs. Ex Situ Deposition

Jaeyun Choi ,  Dong ,  yul Kim 외 1명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2024 .11

Effect of hybrid plasma source on O radical generation in oxygen plasma

Kwan-Yong Kim ,  Kyung-Hyun Kim ,  Young-Hun Hong 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2018 .08

Plasma-induced reaction at plasma-liquid and plasma-polymeric film interface by AC-driven atmospheric pressure plasma

김태환 ,  이승환

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Flexible Plasma Sheets

Guangsup Cho ,  Yunjung Kim

Applied Science and Convergence Technology

2018 .03

Development of process plasma diagnosis and control system using plasma emission light diagnostics

Jin-Woo CHOI ,  Ye-Seul LEE ,  Tae-Hoon JO 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

Plasma Properties Data Center Activities for Plasma Application in the National Fusion Research Institute

송미영 ,  김대철 ,  권득철 외 16명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .08

Comparative simulation of microwave probes for plasma density measurement and its application

김대웅 ,  유신재 ,  김시준 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

정전척에서의 신호 변화를 이용한 웨이퍼 부하 및 플라즈마 부하 측정 시스템

온범수 ,  신기원 ,  이태현 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02