플라즈마 진단 센서를 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 시스템

온범수; 신기원; 이태현; 권희태; 김우재; 박연수; 김지환; 방인영; 권기청

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저자정보: 온범수 (광운대학교) 신기원 (광운대학교) 이태현 (광운대학교) 권희태 (광운대학교) 김우재 (광운대학교) 박연수 (광운대학교) 김지환 (광운대학교) 방인영 (광운대학교) 권기청 (광운대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2020년 한국진공학회 (제59회 하계정기학술대회 초록집)

발행연도: 2020.8

수록면: 105 - 105 (1page)

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2021

캐패시턴스 측정 방법을 이용한 반도체 웨이퍼형 2차원 플라즈마 밀도 분포 진단용 센서 시스템 개발

온범수 전자바이오물리학과 2021.01 학위논문

2020

플라즈마 진단 센서를 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 시스템

온범수 , 신기원 , 이태현 외 6명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020.08 학술대회자료

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플라즈마 진단 시스템을 이용한 기판에서의 플라즈마 밀도 측정 실험

박연수 , 신기원 , 김우재 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2021 .02

핵융합로 제어를 위한 진단 기술의 미래

남용운 물리학과 첨단기술 2022 .04

플라즈마 진단 장치 및 진단 방법에 대한 연구

왕태희 , 박민상 , 김미진 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2021 .10

정전척에서의 신호 변화를 이용한 웨이퍼 부하 및 플라즈마 부하 측정 시스템

온범수 , 신기원 , 이태현 외 5명 한국진공학회 학술발표회초록집 2020 .02

머신러닝 학습을 위한 플라즈마 광학 진단 데이터 전처리 방법

송중호 , 송재민 , 김종식 외 1명 한국정보과학회 학술발표논문집 2019 .12

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