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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
송유진 강성준 (한국표준과학연구원)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제6호
발행연도
2009.11
수록면
488 - 493 (6page)

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탄소나노튜브 Array를 고성능의 전자소자로 응용하고자 함에 있어, 탄소나노튜브의 전기적 특성을 결정짓는 길이와 직경을 제어하는 일은 매우 중요하다. 본 연구에서는 비교적 간단한 공정을 통하여 탄소나노튜브의 길이를 제어하는 기술을 개발 하였다. 기판에 평행하게 정렬된 탄소나노튜브 Array 박막을 열화학기상증착법을 이용하여 성장 시킨 후, 간단한 포토 리소그래피 공정과 산소 플라즈마 에칭 공정을 통하여 균일한 길이의 탄소나노튜브 Array를 기판위에 형성하였다. 본 연구를 통하여 개발된 균일한 길이의 고밀도 탄소나노튜브 Array는 대면적의 나노전자 소자뿐만 아니라, 태양전지, 바이오센서 등에 적용할 수 있다.
#탄소나노튜브 Array #길이 제어 #산소 플라즈마 에칭 #Carbon nanotube #Uniform length #Oxygen plasma etching

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (18)

참고문헌 신청
1. [기타자료] - / 2000 / International Technology Roadmap for Semiconductors (ITRS) / Semiconductor Industry Association google schola 2. [학술지(정기간행물)] - J. Ahn / 2006 / / Nature Nanotechnol 15 : 1754 ~ 1757 google schola 3. [학술지(정기간행물)] - S. J. Kang / 2007 / / Nature Nanotechnol 2 : 230 ~ 236 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Z. Chen / 2006 / / Science 311 : 1735 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - G. F. Close / 2008 / / Nano Lett 8 : 706 ~ google schola

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