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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김성환 (성균관대학교) 송우석 (성균관대학교) 김유석 (성균관대학교) 김수연 (성균관대학교) 박종윤 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제4호
발행연도
2011.7
수록면
294 - 299 (6page)

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본 연구에서는 열화학기상증착법과 나노구조의 Fe/Al₂O₃/Si 촉매층을 이용하여 단일벽 탄소나노튜브를 합성하고 마이크로웨이브 조사를 통해 금속성 단일벽 탄소나노튜브를 선택적으로 제거하고 반도체성 단일벽 탄소나노튜브를 분리하였다. 조사시간의 변화에 따른 단일벽 탄소나노튜브의 전기적, 구조적 특성을 분석한 결과, 조사시간이 120초인 경우, 금속성의 단일벽 탄소 나노튜브가 선택적으로 제거되어 약 95%의 반도체성 단일벽 탄소나노튜브를 분리할 수 있었으며, 뿐만 아니라 남아있는 반도체성 단일벽 탄소나노튜브가 손상 없이 우수한 결정성을 지니는 것을 확인할 수 있었다. 이러한 방법은 반도체성 단일벽 탄소 나노튜브를 기반으로 한 전계효과 트랜지스터 및 다양한 나노전자소자의 응용에 유용한 정보를 제공하리라 기대한다.
#단일벽 탄소나노튜브 #마이크로웨이브 #화학기상증착법 #Single-walled carbon nanotubes #Microwave #Thermal chemical vapor deposition

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (19)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - Z. Yao / 2000 / / Phys. Rev. Lett 84 : 2941 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - C. T. White / 1998 / / Nature 393 : 240 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - A. Javey / 2003 / / Nature 424 : 654 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S. J. Tans / 1998 / / Nature 393 : 49 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - T. Durkop / 2004 / / Nano Lett 4 : 35 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273391