자연 성장된 InAs/AlAs 양자점의 Photoreflectance 특성

김기홍; 심준형; 배인호

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자료유형: 학술저널

저자정보: 김기홍 심준형 배인호

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제3호

발행연도: 2009.5

수록면: 208 - 212 (5page)

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MBE법으로 성장된 InAs/AlAs 양자점(quantum dots; QD) 구조의 광학적 특성을 photoreflectance(PR) 이용하여 조사하였다. Wetting layer(WL) 두께에 따른 전체 장벽의 폭이 달라짐에 따라 GaAs 완충층 및 WL 신호의 세기가 변화되었다. QD층이 식각된 시료의 상온 PR측정 결과로부터 1.1~1.4 eV 영역의 완만한 신호는 InAs QDs과 WL에 관련된 신호임을 알았다. 온도 450~750℃범위에서 열처리 시켰을 때 WL층의 PR 신호가 red shift하였는데, 이는 열처리 후 InAs WL와 AlAs층 사이에 Al과 In의 내부 확산에 의해 양자점의 크기가 균일하게 재분포 되고, WL의 임계 두께가 증가하였음을 나타낸다.

#InAs/AlAs 양자점 #Photoreflectance #Wetting laser #열처리 효과 #InAs/AlAs quantum dots #Annealing effect

참고문헌 (16)

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1. [단행본] - W. R. Frensley / 1995 / Heterostructure and Quantum Well Physics / Academic Press

2. [학술지(정기간행물)] - E. Kapon / 1989 / / Phys. Rev.Lett 63 : 430 ~

3. [단행본] - P. Harrison / 1999 / Quantum Wells, Wires and Dots / The University of Leeds

4. [학술지(정기간행물)] - 김현진 / 2003 / / 전자공학회지 30 (5) : 53 ~

5. [학술지(정기간행물)] - S. Ganapathy / 2003 / / J.Appl. Phys 94 : 4871 ~

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