PBMS의 교정 및 이를 이용한 진공 내 나노입자의 실시간 분석 연구

김동빈; 문지훈; 김형우; 김득현; 이준희; 강상우; 김태성

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저자정보: 김동빈 (한국표준과학연구원) 문지훈 (한국표준과학연구원) 김형우 (성균관대학교) 김득현 (코셈) 이준희 (코셈) 강상우 (한국표준과학연구원) 김태성 (성균관대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제49회 하계정기학술대회초록집

발행연도: 2015.8

수록면: 91 - 91 (1page)

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