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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제2호
발행연도
2007.3
수록면
99 - 104 (6page)

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Febry-Perot 프린지 패턴 (fringe pattern)과 광발광성 (photoluminescence, PL)의 광학적 성질을 동시에 가지고 있는 다공성 실리콘을 이용하여 가스센서를 개발하였다. 다공성 실리콘 샘플은 p-type 실리콘 웨이퍼 (boron-doped,〈100〉orientation, resistivity 1~10Ω)를 이용하여 전기화학적 식각을 통하여 만들어 졌다. 다공성 실리콘 샘플들은 열적 산화 방법과 hydrosilylation 방법을 통하여 그 표면이 수소로 종결된 다공성 실리콘 (Si-H)과 산화된 다공성 실리콘(Si-OH), 두 가지 각각 다른 표면 성질을 갖는 다공성 실리콘을 제작 하였다. 준비된 두 가지 다른 다공성 실리콘 칩들은 메탄올, 아세톤, 헥산, 그리고 톨루엔의 증기에 노출 시켰을 때 Febry-Perot 프린지 패턴의 변화나 PL의 변화를 관측하여 다공성 실리콘을 이용한 VOCs (volatile organic compounds) 센서로서의 응용에 대하여 연구하였다. Febry-Perot 프린지 패턴은 유기 물질의 증기압이 클수록 단파장으로 이동하는 폭이 컸고, 광 발광성은 극성도가 큰 물질일수록 소강현상이 크게 일어나는 것을 알 수 있었다.
#Febry-Pérot 프린지 패턴 #광발광성 #다공성 실리콘 #열적 산화 #Febry-Pérot fringe pattern #Photoluminescence #Porous Silicon #Thermal oxidation

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 토론
Ⅳ. 결론
참고문헌

참고문헌 (1)

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1. [학술지(정기간행물)] - / / Elcetronics shaping of germanium and silicon google schola

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