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논문 기본 정보

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한국분석과학회 분석과학 분석과학 제22권 제3호
발행연도
2009.6
수록면
247 - 253 (7page)

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단결정의 실리콘 웨이퍼를 hydrofluoric acid와 ethyl alcohol이 혼합된 용액에 담궈 적정한 전류를 흘려주면 웨이퍼 표면에 수많은 pore를 형성하면서 에칭되어진다. 이러한 pore의 형태와 porosity는 전류 값과 에칭 시간 및 주기를 변화시켜 쉽게 조절할 수 있는데, 이렇게 제작된 다공성 실리콘은 수백 ㎡/㎤의 큰 표면적을 가지게 된다. 이때 sin 파와 같은 모양으로 시간대별 가해지는 전류 밀도를 다르게 해주어 pore안쪽의 모양을 변화시켜 주어 가시광선 영역에서 하나의 spectrum을 나타나게 되는 rugate 박막을 제작 한다. 본 연구에서는 법과학적인 목적으로 코드화된 다공성 실리콘의 rugate film을 이용하여 nano particle을 제작한 다음 이 입자들을 페인트에 혼합, 차량에 도포하고, 회수 후에 이를 확인할 수 있는지 조사하였다. 본 연구에서는 또 다양하게 가해지는 전류 값을 변경 또는 혼합하여 다공성 실리콘에 다양한 코드화를 시도하였으며, 사고 시 탈착한 페인트에서 다공성 실리콘 nano particle을 회수 하기 위해 다공성 실리콘 안에 magnetite를 삽입하여 자석을 이용한 미량 나노입자 시료를 응집시켜 스펙트럼을 확인하였다.
#porous silicon #forensic #rugate filter #nanoparticles #encoded

목차

요약
Abstract
1. 서론
2. 실험
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (6)

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1. [학술지(정기간행물)] - A. Uhlir / 1956 / / Bell system Tech. J. 35 : 333 ~ google schola 2. [기타자료] - J. R. Link / 2005 / Spectrally encoded porous silicon “Smart Dust” for chemical and biological sensing applications google schola 3. [학술지(정기간행물)] - J. R. Dorve / 2008 / / Dalton Transactions 721 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - S. Gold / 2004 / / J. Power Sources 135 : 198 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - H. Foll / 2002 / / Mater. Sci. Eng. 39 : 93 ~ google schola

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