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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2005.12
- 수록면
- 215 - 221 (7page)
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비스무스와 텔루리움 타겟을 co-sputtering하여 열전특성을 지닌 비스무스 텔루라이드(Bi₂Te₃) 박막을 제조하고, 증착온도에 따른 표면형상, 결정성, 그리고 전기적 특성의 변화를 조사하였다. 표면온도가 290℃ 이상일 때, 박막의 표면에서 육각형상의 결정이 뚜렷이 관찰되었으며, X선 회절분석을 통하여 높은 증착온도에서 박막의 주된 구성물질이 rhombohedral 구조의 Bi₂Te₃ 결정상에서 hexagonal 구조의 BiTe 결정상으로 변하는 것을 확인하였다. 높은 증착온도에서 제조된 박막의 조성이 Bi₂Te₃의 화학양론비에서 벗어남으로 구조적 변화와 함께 전기적 특성도 변한다는 사실을 알 수 있었다. 제조된 비스무스 텔루라이드 박막의 열전특성을 파악하기 위해 제벡계수(Seebeck coefficient)를 측정하였다. 모든 시편이 n 타입의 열전박막임을 확인하였으며, 증착온도 약 225℃에서 열전특성의 최적값 (제벡계수: -55 μV/K, 열전성능인자: 3×10-⁴ W/K²m)이 얻어졌다. 그 이상의 온도에서 나타나는 열전 특성의 저하는 텔루리움의 증발에 따른 Bi₂Te₃ 열전박막의 텔루리움 함량 부족과 그에 따른 BiTe 결정상의 발생으로 이해된다.
목차
요약
Abstract
1. 서론
2. 실험방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (3)
참고문헌 신청
[학술지(정기간행물)] - / 1995 / CRC Handbook of Thermoelectrics : 211 ~
[학술지(정기간행물)] - / / Joint Committee on Power Diffraction Standards diffraction data card 863 set 15 for Bi2Te3 published by American Society of Testing and Materials
[학술지(정기간행물)] - / / Joint Committee on Power Diffraction Standards diffraction data card 667 set 44 for BiTe published by American Society of Testing and Materials
[학술지(정기간행물)] - / / Joint Committee on Power Diffraction Standards diffraction data card 863 set 15 for Bi2Te3 published by American Society of Testing and Materials
[학술지(정기간행물)] - / / Joint Committee on Power Diffraction Standards diffraction data card 667 set 44 for BiTe published by American Society of Testing and Materials
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