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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제1호
발행연도
2001.4
수록면
112 - 118 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2001

축 방향으로 자화된 용량 결합형 RF 플라즈마의 특성 연구
이호준 ,  태흥식 ,  이정해 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2001.04 학술저널

1999

축 방향 자장이 인가된 용량 결합형 라디오 주파수 플라즈마의 특성 연구
이호준 ,  이동영 ,  태흥식 외 1명 대한전기학회 학술대회 논문집 1999.11 학술대회자료

초록· 키워드

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본 논문에서는 축 방향으로 자화된 용량결합형 13.65 MHz/40 KHz RF 방전에서 Langmuir Probe, Emissive Probe를 통해 이온 전류 밀도, 전자 온도, 플라즈마 전위의 자장 의존성 및 자기 바이어스 전위를 조사하였다. 자장을 인가함으로서 실험변수 범위 내에서 최대 3배의 이온 전류밀도 증가를 얻었고 점화 가능한 기체 압력의 최저값을 줄일 수 있었다. 플라즈마가 자화된 경우 공간 전위는 평균적으로 감소하였고 RF전압의 한주기 동안 시 변동폭이 크게 증가하였다. 플라즈마 전위의 자장 의존성은 Particle-in-Cell Simulation을 수행하여 실험 결과와 비교하였다. 대표적 실험 조건에서 전자 온도는 자장에 따라 약 4eV에서 5eV로 약간 증가하는 경향을 보였으나 방전 주파수를 40KHz로 줄인 경우 1.8eV에서 0.8eV로 감소하였다. 실험 장치의 응용 예로서 플루오로 카본 가스에 의한 식각실험이 수행되었다. 자화 플라즈마의 산화막 식각속도 증가를 확인함으로서 축방향 자장이 실제 공정에 긍정정인 영향을 미침을 확인 할 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험장치 및 방법

3. 실험결과 및 토의

4. 결론

감사의 글

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