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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제2호
발행연도
1994.6
수록면
179 - 185 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1997

평판 용량 결합형 RF 방전 플라즈마 내 미세 오염 입자의 발생및 행동양식
연충규 ,  황기웅 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.02 학술대회자료

1994

RF 용량결합 플라즈마 발생장치에서 입자오염이 플라즈마 물성에 미치는 영향
연충규 ,  양일동 ,  황기웅 Applied Science and Convergence Technology 1994.06 학술저널

초록· 키워드

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음극에 DLC(Diamond-like Carbon) 필름이 놓여져 있는 용량결합형의 RF 플라즈마 장치에서 Ar 가스에 의한 방전에서 발생된 입자의 분포를 레이저 산란에 의하여 관측하였다. 발생된 입자들은 플라즈마와 sheath의 경계면에서 높은 밀도의 구름을 이루었으며, 시간에 따라 주기적인 분포의 변화가 반복되었다. 입자 구름의 발생은 플라즈마 물성의 변화를 야기하였으며, 그 결과로 심한 self-bias 전위의 감소현상이 관측되었다. 입자 구름분포의 시간에 따른 변화와 같은 주기의 self-bias, 플라즈마전위의 진동현상이 가열된 fast-scanning Langmuir 탐침에 의하여 관측되었다. 이 결과는 입자 표면에로의 음전하 누적에 따른 전체 음전하의 이동도(mobility) 감소에 의한 것으로 해석된다. 또한 방출 분광법에 의하여 입자오염상태의 Ar 플라즈마와 정상상태의 Ar 플라즈마의 방출 선세기(emission line intensity)의 변화를 관측하였는데, 입자구름 오염시의 2차전자 차폐현상에 의해 높은 문턱 에너지를 가진 Ar Ⅱ 선의 세기 감소현상이 나타났다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험장치 및 실험내용

3. 결과 및 토론

4. 결론

참고문헌

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