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Plasma Diagnostics using Optical Emission Spectroscopy on Argon Capacitively Coupled Plasma with Various Line-of-Sight
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Control of spatial distribution of plasma density by the variable capacitor in a capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Power Dissipation in a RF Capacitively Coupled Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
A Brief Review of Electron Kinetics in Radio-Frequency Plasmas
Applied Science and Convergence Technology
2019 .07
상압에서 capacitively couple plasma type의 capillary electrode discharge를 이용한 glow discharge plasma의 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
2D GPU-PIC을 이용한 Capacitively Coupled Plasma 장비 내에서 발생하는 Micro-arc 현상 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
대면적 Capacitively Coupled Plasma에서 Multi power feeding에 따른 Plasma uniformity 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
Capacitively Coupled, RF Excited CH₄ Plasma 에서의 Particle 발생및 그 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
A technique based on a C-R model to determine electron density in low pressure discharges containing argon
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
Research on the applicability of argon discharge global model independent of plasma source type
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
Initial Study of Electron Temperature and Density Simulation on Capacitively Coupled RF He Plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Microtrenching of SiO₂ contact hole etching in C₄F8/Ar capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
On the role of the singlet metastables in capacitively coupled oxygen discharges
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
Investigation of effect of rf bias frequency on plasma parameters in a remote inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
Monitoring Ion Energy Distribution in Capacitively Coupled Plasmas Using Non-invasive Radio-Frequency Voltage Measurements
Applied Science and Convergence Technology
2014 .11
Highly selective etching of silicon nitride to CVD a-C in dual-frequency capacitively coupled CH₂F₂/H₂plasmas
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
Effects of the terminal capacitor on electron energy distribution function in a remote inductively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
EEDF measurement in SF6+O2 & CF4+O2 mixture gas capacitively coupled plasma
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Control of electron energy distribution by hybrid plasma source in low gas pressure
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
Development of an Improved Numerical Methodology for Design and Modification of Large Area Plasma Processing Chamber
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
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