PECVD로 증착된 a - Si 박막의 고상결정화에 있어서 기판 온도 및 수소희석의 효과

이정근

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 이정근

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제1호

발행연도: 1998.2

수록면: 29 - 34 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

초록· 키워드

오류제보하기

PECVD 방법으로 증착된 비정질 실리콘(a-Si) 박막이 고상결정화되고 x-선 회절(XRD) 방법으로 조사되었다. a-Si 박막들은 기판 온도 120-380℃ 사이에서 Si(100) 웨이퍼 위에 SiH₄가스 혹은 수소희석된 SiH₄가스로 증착되고, 600℃로 가열되어 결정화되었다. 고상화 되었을 때(111), (220), (311) XRD 피크들이 나타났고 (111) 우선방위가 두드러졌다. 고상결정화된 다결정 실리콘(poly-Si) 박막들의 XRD 피크의 세기는 기판온도가 낮아짐에 따라 증가되었고, 수소희석은 고상화 효과를 감소시켰다. XRD로 측정된(111) 결정립의 평균 크기는 기판온도가 낮아짐에 따라 약 10 ㎚에서 30 ㎚로 증가하였다. 기판온도가 낮아질수록 증착속도는 증가하였으며, 결정의 크기는 증착속도와 밀접한 관계가 있었다. Si계의 구조적 무질서도가 클수록 고상화에 의한 결정립의 크기도 커지는 것으로 생각된다.

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

이정근

소속기관 한국진공학회(ASCT)

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 1 이용수 166

이 논문과 함께 이용한 논문

고진공 화학증착법으로 증착된 비정질 실리콘 박막의 저온 고상결정화에 관한 연구

이상도 , 김형준 Applied Science and Convergence Technology 1995 .03

FA-CVD에 의한 Si 박막 특성의 수소 희석 효과 ( Effect of Hydrogen Dilution on Characteristics of Thin Silicon Films Prepared by FA-CVD )

정창영 , 정관수 , 장진 대한전자공학회 학술대회 1989 .01

Staphylococcus R-플라스미드의 분리와 전이

강현 , 정윤섭 , 김수영 외 1명 The Journal of the Korean Society for Microbiology 1989 .10

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001266410

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)