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실리콘 박막의 고온고상 결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
a - Si₁-xGex : H 박막의 고상결정화에 따른 스핀밀도의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
비정질 실리카겔의 Si-OH와 Si-O-Si 산소 원자 환경 규명 : 17O 고상 핵자기공명 분광분석 연구
한국암석학회 학술발표회 논문집
2012 .05
TEM을 이용한 비정질 박막의 구조분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
a - Si / SiO₂ 계면의 증착조건에 따른 비정실 실리콘 박막의 고상 결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
PECVD 공정에 의해 증착된 비정질 실리콘 박막의 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
PECVD로 증착된 a - Si : H의 고상결정화에 있어서 기판온도의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
PECVD로 증착된 a - Si 박막의 고상결정화에 있어서 기판 온도 및 수소희석의 효과
Applied Science and Convergence Technology
1998 .02
p층 물성에 따른 p-i-n 비정질 실리콘(a-Si:H) 박막 태양전지 동작특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화
Applied Science and Convergence Technology
2003 .09
PECVD와 고상결정화 방법을 이용한 poly - SiGe 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Co / Si 다층박막에서 고상확산에 의한 실리사이드 생성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
비정질 n-형 Si 박막을 이용한 자기터널 트랜지스터 특성 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2003 .06
LPCVD법으로 증착된 비정질 실리콘박막의 고상결정화에 미치는 자기이온주입효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
a - SiGe : H 박막의 고상결정화에 따른 주요 결함 스핀밀도의 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
Si+이온주입에 의한 비정질씰리콘의 고상 Epitaxy에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
승온시 Si₂H6 가스 주입을 이용한 표면 SiO₂의 억제 및 비정질 Si의 고상 에피텍시에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
1996 .09
PECVD 로 증착한 비정질 실리콘 박막의 고온결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Si - O - C - H 저유전율 박막의 특성 연구 Study of Low - k Si - O - C - H Thin Films
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
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