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한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제20회 학술발표회초록집
발행연도
2001.2
수록면
135 - 136 (2page)

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2002

Discrete - Sectional 모델에 의한 플라즈마 반응기에서의 미립자 성장 예측
김동주 ,  김교선 한국진공학회 학술발표회초록집 2002.06 학술대회자료

2001

반도체 제조용 사일렌 플라즈마 반응기에서의 입자 성장 모델
김동주 ,  김교선 Applied Science and Convergence Technology 2001.07 학술저널
반도체용 플라즈마 반응기에서의 입자 성장 모델
김동주 ,  김교선 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.02 학술대회자료

2000

반도체 제조용 사일렌 플라즈마 반응기 내에서의 입자 오염에 관한 이론적 연구
김동주 ,  김교선 Applied Science and Convergence Technology 2000.05 학술저널

1999

반도체 제조 공정 중 플라즈마 반응기 내에서 입자 오염을 유발하는 미립자들의 성장
김동주 ,  김교선 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

1996

반도체 제조용 PCVD 반응기에서의 미립자 오염
김동주 ,  김교선 대한전기학회 학술대회 논문집 1996.07 학술대회자료

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