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임현교 (광운대학교) 김동준 (광운대학교) 김정현 (광운대학교) 한상호 (광운대학교) 조광섭 (광운대학교)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
14 - 21 (8page)

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유리관에 삽입된 주사기 바늘을 이용한 플라즈마 제트 장치의 특성을 조사하였다. 원통형 주사기 바늘 전극에 교류 고전압을 인가하고, 유리관 끝에 설치된 접지전극의 형태에 따른 플라즈마의 방출 특성을 조사하였다. 접지전극이 없는 경우 방전 개시전압이 약 3 ㎸이며, 플라즈마 방사 길이는 약 10 ㎜이다. 또한 높은 방전 개시 전압으로 인하여 플라즈마 방사 길이 및 전류 최소량의 제어가 어렵다. 내부접지 전극의 경우는 방전 개시 전압이 약 1 ㎸로 낮다. 그러나 플라즈마 전류가 내부에 위치한 접지 전극으로 흐르기 때문에 유리관 끝으로부터 플라즈마가 방출되지 않는다. 외부접지 전극의 경우는 인가전압 1∼2 ㎸에서, 방전 전류 1∼4 ㎃이며 플라즈마 방사 길이를 0∼10 ㎜의 범위에서 용이하게 제어된다.

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 플라즈마 제트 발생 장치 및 실험
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

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