광결정 도파로용 나노 마스터 제작

최춘기; 한상필; 정명영

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최춘기 한상필 정명영

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제12권 제4호

발행연도: 2003.12

수록면: 288 - 292 (5page)

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Air hole 구조를 갖는 2차원 고분자 광결정 도파로를 나노 임프린트 방법으로 제작하기 위하여, e-beam lithography와 ICP etching 공정을 이용하여 기둥 구조를 갖는 실리콘 나노 마스터를 제작하였다. Air hole 구조를 갖는 광결정 구조를 얻기 위해, 실리콘 마스터 기둥의 형태를 4각형, 6각형, 12각형 및 원으로 설계하였다. 제작된 기둥의 직경과 구조를 CD-SEM과 SPM-AFM을 이용하여 측정하였으며, dose가 432 μC/㎠일 때 최적의 dose 임을 확인하였다.

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