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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.9
- 수록면
- 262 - 269 (8page)
이용수
초록· 키워드
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집속 이온빔 장비는 나노크기의 패턴을 제작하는 한 방법이지만, 정밀한 제작은 쉽지 않다. 그러므로 집속 이온빔 장비로 샘플을 제작할 때 고려해야 하는 공정 조건을 정리하여 초보자도 샘플제작이 가능하도록 도움을 주고자 한다. 본 장비로 원하는 나노크기의 패턴을 제작하기 위해서 집속 이온빔 장비의 공정변수들을 최적화 하는 과정이 중요하다. 가공할 때 고려해야 하는 변수에는 빔 전류량(빔 크기)과 도즈(빔 지속시간)가 있다. 도즈를 결정한 후에 패턴을 제작하는데 걸리는 시간과 패턴의 크기를 고려하여 빔 전류량을 선택하면 된다. 여기서 도즈는 제작하려는 나노크기의 패턴의 금속 두께에 따라 결정이 된다. 이 논문에서 최적화한 1 pA의 빔 전류와 0.1 nC/μm²의 도즈의 공정조건에서 100 nm 두께의 금 박막 위에 타원형의 구멍을 정밀하게 제작할 수 있다.
목차
I. Introduction
II. Experiments
III. Results and Discussion
IV. Conclusion
References
참고문헌 (22)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - B. Schiedt / 2010 / / Microelectron. Eng 87 : 1300 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 신현욱 / 2013 / Pt 금속 박막을 이용한 InAlP층의 텍스쳐 구조 형성 및 반사율 측정 / 한국진공학회지 22 (3) : 150 ~ 155
3. [학술지(정기간행물)] - 고영환 / 2012 / ITO/PET 기판 위에 성장된 산화아연 나노로드에 형성된 은 입자의 광학적 특성 및 소수성 표면 연구 / 한국진공학회지 21 (4) : 205 ~ 211
4. [학술지(정기간행물)] - M. J. Vasile / 1997 / / J. Vac. Sci. Technol. B 15 : 2350 ~
5. [학술지(정기간행물)] - C. H. Chao / 2009 / / J. Materials Eng. and Performance 18 : 878 ~
2. [학술지(정기간행물)] - 신현욱 / 2013 / Pt 금속 박막을 이용한 InAlP층의 텍스쳐 구조 형성 및 반사율 측정 / 한국진공학회지 22 (3) : 150 ~ 155
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5. [학술지(정기간행물)] - C. H. Chao / 2009 / / J. Materials Eng. and Performance 18 : 878 ~
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