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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제12권 제4호
발행연도
2003.12
수록면
201 - 206 (6page)

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스테인레스 스틸 304 재료로 가공된 진공용기의 온도를 235 ℃까지 올린 후 다시 상온까지 내리는 굽기 과정에서와 세 개의 열음극 전리 진공게이지를 켜거나 탈기체 시켰을 때 이탈하는 기체의 양과 조성을 잔류기체분석기로 측정하여 분석하였다. 굽기 과정에서 이탈된 기체는 주로 H₂, CO, H₂O 등이었으나 상온에서의 잔류기체는 H₂와 CO가 대부분이었다. 게이지를 켜거나 탈가스 시킨 후 용기내의 잔류가스는 H₂와 H₂O가 대부분이었고 이탈된 기체의 양과 종류는 게이지마다 조금씩 차이가 있음을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 전리 진공게이지 원리

3. 실험 방법

4. 결과 및 고찰

5. 결론

참고문헌

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