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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제16권 제2호
발행연도
2007.3
수록면
91 - 98 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2007

잔류기체 분석기 교정장치 개발
홍승수 ,  임인태 ,  김진태 Applied Science and Convergence Technology 2007.03 학술저널

2003

잔류기체분석기 특성평가장치 개발
홍승수 ,  임종연 ,  임인태 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2003.08 학술대회자료

초록· 키워드

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한국표준과학연구원 진공기술센터에서 잔류기체분석기 교정장치를 개발하였으며, 이 장치를 이용하여 서로 다른 구조를 가진 두개의 사중극 질량분석기 (quadrupole mass spectrometer)의 질소, 아르곤, 헬륨에 대한 기체감도를 측정하였다. 그 결과 기체감도는 QMS 구조와 상관없이 기체의 질량이 클수록 높게 나타났고 압력에 따라서도 다른 특성을 보였으므로 정확한 사용을 위해서는 기체감도를 꼭 보정해야 함을 알 수 있었다.
#사중극 질량분석기 #기체감도 #교정 #Quadrupole mass spectrometer #gas sensitivity #calibration

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 사중극 질량분석기 기본이론
Ⅲ. 실험 장치
Ⅳ. 결과 및 논의
Ⅴ. 결론
참고문헌

참고문헌 (2)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - / 2006 / Partial Pressure Measurements : 1 ~ 3 google schola 2. [학술지(정기간행물)] - / 1993 / Recommended practice for calibration of partial pressure analyzers google schola

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