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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제2호
발행연도
2001.7
수록면
164 - 172 (9page)

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2013

압출로 제작한 알루미늄 진공용기의 기체방출 측정
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2001

알루미늄합금 진공용기의 기체방출 특성
박종도 ,  하태균 ,  문상운 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 2001.07 학술저널

2000

알루미늄합금 진공챔버의 기체방출률 측정
박종도 ,  황정연 ,  배인호 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 2000.07 학술대회자료

초록· 키워드

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기계가공으로 제작되고 알칼리 화학세정을 거친 알루미늄합금(A5083) 진공용기에 대한 기체방출 특성을 조사 하였다. 상온배기를 시작한 후 가열탈기체 처리를 하기 전 까지 배기곡선은 ~t^(-1.15) 모양을 따랐다. 이 알루미늄 진공용기에 대한 배기곡선을 비교적 간단한 모델들을 사용하여 용기의 내표면에 흡착되어 있는 물의 1차 방출로 분석하였다. ~10^(-5) - 10^(-8) Torr 압력구간에서 물분자는 ~17 - 22 kcal/mol 사이의 탈리에너지 값을 가지는 몇 개의 흡착석에서 방출됨을 알 수 있었다. 한편 100℃, 24 시간 가열 탈기체 처리후 알루미늄용기에 대한 기체방출률은 상온에서 ~1×10^(-13) Torrℓ/s ㎠로 측정되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험

3. 결과 및 토의

4. 결론

참고문헌

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