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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제4(1)호
발행연도
1999.11
수록면
438 - 444 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1999

PEM을 이용한 ITO / PET film의 조성 제어
한세진 ,  김용한 ,  김영환 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 1999.11 학술저널
PEM을 위한 ITO / PET film 조성 제어
한세진 ,  김용한 ,  김영환 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.07 학술대회자료

초록· 키워드

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진공 중 가스의 방출이 크고[1] 천이온도(T_g: glass transition)가 낮아 기판으로 사용에 제약이 있는 플라스틱 필름에 ITO 박막을 연속적으로 코팅하기 위하여 PEM을 이용한 공정제어 효과 및 박막의 특성을 조사하였다. 롤 형태로 감긴 PET(두께 75 ㎛, 폭 190 ㎜) 필름을 0.2 m/min 속도로 이송시키며 글로우 방전 층에 노출시켜 탈가스와 표면의 균질화 및 미세화 처리하고, 이어서 산소/알곤 펄스 직류 플라즈마 분위기에서 합금 타켓(In_(90)-Sn_(10))을 사용하여 ITO를 제조하였다. PEM으로 타켓 표면의 방전 스펙트럼 강도를 금속모드 대비 39%로 유지되도록 산소 분압비를 조정한 결과, 원자비로 Sn/In=0.12, O/In=1.34인 ITO 박막이 P_(O2)/P_(Ar)=0.23 조건에서 얻어졌으며, 이때 평균 면적 저항은 37Ω/□, 가시광선 투과도는 86%로 측정되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

후기

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