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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제4호
발행연도
1996.12
수록면
278 - 283 (6page)

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Field terminator를 이용하여 single path cylindrical mirror analyser를 제작하였다. 먼저 컴퓨터 모의실험을 바탕으로 CMA의 원통형 전극양단에서 fringing field effect를 최소로 하여 log-scale의 등전위면을 그대로 유지하는 terminator의 전압비와 위치 등을 구하였다. 계산된 전압을 직렬로 연결된 금속산화물저항으로 만든 voltage divider로 field terminator에서 직접 인가하여 CMA의 fringing field effect를 줄이는 방법을 개발하였다. 이 방법으로 제작된 CMA의 분해능이 △E/E = 0.4% 이상임을 확인하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 모의실험 및 제작

3. 결과

감사의 글

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