금속 공간층을 가진 fringing field 효과를 이용한 SONOS 구조를 가진 낸드플래시 기억소자의 전기적 성질

김성호; 유주형; 김태환

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저자정보: 김성호 (한양대학교) 유주형 (한양대학교) 김태환 (한양대학교)

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제39회 하계정기학술대회 프로그램집

발행연도: 2010.8

수록면: 214 - 214 (1page)

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