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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제4호
발행연도
1996.12
수록면
284 - 291 (8page)

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차세대 반도체 제조공정을 위한 고진공 클러스터 장비용 반송모듈에 대해 고속 응답이 가능한 압력제어 장치의 구현과 그 성능시험을 수행하였다. 일반적인 자동 유량조절기가 가지고 있는 저속 응답에 대한 문제점을 해결하기 위하여 압력제어 순서를 매우 효과적으로 최적화하기 위하여 새로운 실험방법이 제시되었다. 압력제어를 시작하는 시점과 Ziegler-Nichols 제어방법에 의한 조율 상수들을 조절함으로써 매우 안정되고 빠른 응답이 가능한 압력제어를 성공적으로 달성하였다. 반송압력이 5×10^(-5) torr인 경우, 질소의 초기유량을 2.1 sccm으로 설정한 후 4초 시각부터 실제적인 압력제어가 시작되었다. 그 결과, 최대 압력오차가 설정값에 대해 ±0.5% 이하에서 안정화 시간은 10 sec 이내로 기존 실험방법과 비교해 볼때 70% 정도 개선된 우수한 성능을 얻을 수 있었다. 이때 rise rate는 0.02 torr/sec, the lag time는 0.15 sec, the sampling period는 0.5 sec 이였다. 이러한 실험결과를 설명하기 위하여 이론적인 모델이 유도되었으며, ω=-1.0일때 실험결과와 잘 일치함을 알 수 있었다.

목차

Abstract

요약

Ⅰ. Introduction

Ⅱ. Experimental

Ⅲ. Theoretical Background

Ⅳ. Summary

Ⅴ. Conclusion

References

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