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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제1호
발행연도
1992.2
수록면
1 - 10 (10page)

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스테인레스 강에 대하여 가장 기본적인 전 처리 방법인 세 가지의 화학적 세척 방법 즉, 탈지, 전해연마 그리고 화학적 에칭으로 처리된 304 스테인레스 강의 표면 상태와 진공특성에 대하여 연구하였다. 오제 분석과 가스 방출률 측정을 통하여 각 방법의 세척 효과를 비교하고 평가하였다. 상온에서 배기를 시작하여 48시간이 경과한 후의 가스 방출률로 탈지시료에 대해서는 1.1×10^(-10) torr l/s cm², 전해연마 시료에 대해서는 2.2×10^(-11) torr l/s cm², 그리고 화학적 에칭 시료에 대해서는 3.9×10^(-11) torr l/s cm² 값(질소 등가 값)을 각각 얻었다. 또한 표면 상태를 다른 측면에서 비교하기 위하여 각 시료에 대한 배기 곡선을 간단한 모델을 통하여 분석하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 세척방법

3. 결과 및 토의

4. 결론

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