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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제18권 제2호
발행연도
2005.1
수록면
105 - 108 (4page)

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The Pb(Zr,Ti)O3 thin films were fabricated with Pb(La,Ti)O3 buffers in-situ onto Pt/Ti/SiO2/Si substrates by pulsed laser deposition method. We have observed the increase of the remanent polarization using PLT buffers. The remanent polarization value of 33.4 μC/cm2 and the coercive field value of 66.4 kV/cm were obtained when the PLT buffer was deposited for 15 seconds. Enhancement of the polarization is resulted from the enhanced orientation of PZT thin film because of the PLT buffer layer.

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