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대한전자공학회 전자공학회논문지-SD 전자공학회논문지 SD편 제39권 제3호
발행연도
2002.3
수록면
1 - 8 (8page)

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Sol-gel 법으로 제작한 (Pb0.9La0.1)Ti0.975O3 (PLT(10)) 박막의 구조적 및 전기적 특성에 대한 과잉 Pb 첨가량이 미치는 영향을 조사하였다. DTA 와 X-선 회절분석 결과, 과잉 Pb 첨가량이 7.5 에서 15mol% 로 증가함에 따라, PLT(10) 박막의 결정화 온도는 감소하였으며, (100) 우선 배향성은 증가하였다. 또한, PLT(10) 박막의 과잉 Pb 첨가량에 따른 전기적 특성을 조사한 결과, 12.5mol% 의 과잉 Pb 를 첨가한 박막이 가장 우수한 전기적 특성을 나타내었다. 이때, 비유전률과 유전손실은 각각 350 과 0.02 이었고, 100kV/cm 에서 누설전류밀도는 1.27×10-6A/cm2 이었다. 또한 이력곡선으로부터 구한 잔류분극(Pr) 과 항전계(EC) 는 각각 6.36μC/cm2 와 58.7kV/cm 이었으며, ±5V 의 사각펄스를 109회 인가한 후에도 잔류분극값이 초기값의 약 15% 감소하는 비교적 우수한 피로특성을 나타내었다. 이상의 결과로부터, 과잉 Pb 첨가량이 12.5mol% 인 PLT(10) 박막은 비휘발성 메모리에 응용될 수 있는 매우 유망한 재료임을 알 수 있었다.

목차

Ⅰ. 서론

Ⅱ. 실험방법

Ⅲ. 결과 및 논의

Ⅳ. 결론

참고문헌

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