Tribological Properties of Annealed Diamond-like Carbon Film Synthesized by RF PECVD Method

최원석

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최원석

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제7권 제3호

발행연도: 2006.1

수록면: 118 - 122 (5page)

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Diamond-like carbon (DLC) films were prepared on silicon substrates by the RF PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) method using methane (CH4) and hydrogen (H2) gas. We examined the effects of the post annealing temperature on the tribological properties of the DLC films using friction force microscopy (FFM). The films were annealed at various temperatures ranging from 300 to 900 oC in steps of 200 oC using RTA equipment in nitrogen ambient. The thickness of the film was observed by scanning electron microscopy (SEM) and surface profile analysis. The surface morphology and surface energy of the films were examined using atomic force microscopy and contact angle measurement, respectively. The hardness of the DLC film was measured as a function of the post annealing temperature using a nano-indenter. The tribological characteristics were investigated by atomic force microscopy in FFM mode.

#Atomic force microscopy #Diamond-like carbon #Friction force microscopy #Surface roughness #Tribology

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/ 1984. / Modeling studies of amorphous carbon 30 : 870 ~

/ 1986. / Optical constants and associated functions of metastable diamondlike amorphous carbon films in the energy range 0.57.3 eV 59 : 4133 ~

/ 1989. / Pendant benzene in hydrogenated diamond-like carbon 55 : 1388 ~

/ 1990. / Optical and tribological properties of heat-treated diamond-like carbon 5 : 2531 ~

/ 1992. / Mechanical properties and structure of diamond-like carbon 1 : 397 ~

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