라만 맵핑 방식을 사용한 다이아몬드상 카본박막의미세구조변화에 관한 연구

최원석

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자료유형: 학술저널

저자정보: 최원석

저널정보: 한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제7호

발행연도: 2006.1

수록면: 618 - 623 (6page)

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Hydrogenated Diamond-like carbon (DLC) films were prepared by the radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF PECVD) method on silicon substrates using methane (CH4) and hydrogen (H2) gas. The wear track on the DLC films was examined after the ball-on disk (BOD) measurement with a Raman mapping method. The BOD measurement of the DLC films was performed for 1 to 3 hours with a 1-hour step time. The sliding traces on the hydrogenated DLC film after the BOD measurement were also observed using an optical microscope. The surface roughness and cross-sectional images of the wear track were obtained using an atomic force microscope (AFM). The novel Raman mapping method effectively shows the graphitization of DLC films of 300 μm×300 μm area according to the sliding time by G-peak positions (intensities) and ID/IG ratios.

#DLC #Diamond-like carbon) #PECVD #Plasma enhanced vapor deposition) #BOD #Ball-on disk) #MEMS #Micro electro mechanical system) #Raman mapping method

참고문헌 (9)

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/ 1997. / Protective Coatings and Thin Films : 197 ~

/ 1999. / Characterization and properties of diamond- like carbon films for magnetic recording application 355-356 : 401 ~

/ 1999. / Diamond-like carbon: state of the art 8 : 428 ~

/ 1999. / 진공여과아크법에 의한 다이아몬드상 카본 박막 제조 12 (4) : 17 ~

/ 2000. / The effects of texture height and thickness of amorphous carbon nitride coating of a hard disk sliker on the friction and wear of the slider against a disk 33 : 665

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