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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제11호
발행연도
2006.1
수록면
1,010 - 1,013 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2006

MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 DLC 박막의 트라이볼로지 특성
최원석 ,  홍병유 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2006.10 학술대회자료
MEMS 소자의 고체윤활박막으로 활용하기 위한 다이아몬드상카본 박막의 트라이볼로지 특성 분석
최원석 ,  홍병유 전기전자재료학회논문지 2006.01 학술저널

초록· 키워드

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Hydrogenated Diamond-like carbon (DLC) films were prepared by the radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition (RF PECVD) method on silicon substrates using methane (CH4) and hydrogen (H2) gas for the application to solid lubricant of MEMS devices. We have checked the influence of varying RF power on tribological properties of DLC film. We have checked their performance as two kinds of method such as FFM (Friction Force Microscope) and BOD (Ball-on Disk) measurement. The friction coefficients and the contact number of cycles to steady state decreased as the increase of RF power with FFM and BOD measurement, respectively.
#DLC #Diamond-like carbon) #PECVD #Plasma enhanced vapor deposition) #BOD #Ball-on disk) #MEMS #Micro electro mechanical system) #FFM #Friction force microscope)

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/ / SEIKO SPA400 FFM mode guide book. google schola / 1999. / Diamond-like carbon: state of the art 8 : 428 ~ google schola / 2002. / DLC-based wear protection on magnetic storage media 11 : 1781 ~ google schola / 2003. / A review of modified DLC coatings for biological applications 12 : 583 ~ google schola / 2003. / Electronic devices from diamond- like carbon 18 : 81 ~ google schola

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