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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
김상권 (한국생산기술연구원 열표면연구부) 김성완 (한국생산기술연구원 열표면연구부)
저널정보
한국열처리공학회 열처리공학회지 열처리공학회지 제23권 제2호
발행연도
2010.1
수록면
83 - 89 (7page)

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Diamond-like carbon (DLC) coating was studied to be a good tribological problem-solver due to its low friction characteristics and high hardness. However, generally hydrogenated DLC film has shown a weak thermal stability above $300^{\circ}C$. However, the silicon doping DLC process by DC pulse plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD) for the new DLC coating which has a good characterization with thermal stability at high temperature itself has been observed. And we were discussed a process for optimizing silicon content to promote a good thermal stability using various tetramethylsilane (TMS) and methane gas at high-temperature. The chemical compositions of silicon-containing DLC film was analyzed using X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) before and after heat treatment. Raman spectrum analysis showed the changed structure on the surface after the high-temperature exposure testing. In particular, the hardness of silicon-containing DLC film showed different values before and after the annealing treatment.
#Silicon-containing DLC #Thermal stability #High-temperature endurance #PECVD #Graphitization #Tetramethylsilane #TMS)

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