지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
초록· 키워드
오류제보하기
The microbolometer array sensor with fine pitch pixel array has been implemented to the released amorphous silicon layer supported by two contact pads. For the design of focal plane mirror with geometrical flatness, the simple beam test structures were fabricated and characterized. As the beam length decreased, the effect of beam width on the bending was minimized, Mirror deformation of focal plane in a real pixel showed downward curvature by residual stress of a-Si and Ti layer. The mirror tilting was caused by the mis-align effect of contact pad and confirmed by FEA simulation results. The properties of bolometer have been measured as such that the NETD 145 mK, the TCR −2 %/K, and thermal time constant 1.99 ms.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (7)
참고문헌 신청
E. L. Dereniak / 1996 / John Wiley & Sons / John Wiley & Sons
Kazuhiko Hashimoto / 2001 / Si monolithic microbolometers of ferroelectric BST thin film combined with readout FET for uncooled infrared image sensor / Sensors and Actuators
R.A.Wood / 1993 / Uncooled thermal imaging with monolithic silicon focal planes / Proc. SPIE 2020 : 322 ~
Sabuncuoglu Tezcan, D / 2001 / A low cost uncooled infrared microbolometer focal plane array using the CMOS n-well layer / Micro Electro Mechanical Systems, 14th IEEE Int MEMS Conf
Stephen D. Senturia / 2004 / Microsystem Design / Academic press
Kazuhiko Hashimoto / 2001 / Si monolithic microbolometers of ferroelectric BST thin film combined with readout FET for uncooled infrared image sensor / Sensors and Actuators
R.A.Wood / 1993 / Uncooled thermal imaging with monolithic silicon focal planes / Proc. SPIE 2020 : 322 ~
Sabuncuoglu Tezcan, D / 2001 / A low cost uncooled infrared microbolometer focal plane array using the CMOS n-well layer / Micro Electro Mechanical Systems, 14th IEEE Int MEMS Conf
Stephen D. Senturia / 2004 / Microsystem Design / Academic press
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
MEMS 기반의 IR CO₂ 센서 제작 및 특성 평가
전기학회논문지 C
2005 .05
-
CO₂ 검출을 위한 비분산적외선 가스센서의 MEMS 적외선 센서 제조 및 특성 평가
한국가스학회 학술대회논문집
2015 .07
-
Poly-silicon IR source의 thermal stress 및 방사특성 평가
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
-
적외선 센서를 이용한 CO₂ 가스 측정 시스템 구현
한국통신학회 기타 간행물
2002 .10
-
차량용 Multi Pixel 적외선 센서 및 공조 로직 개발
한국자동차공학회 추계학술대회 및 전시회
2015 .11
-
Thermal Characterization of Individual Pixels in Microbolometer Image Sensors by Thermoreflectance Microscopy
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2015 .10
-
Electro-Thermal Modeling and Experimental Validation of Integrated Microbolometer with ROIC
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2016 .06
-
비정질 실리콘 n⁺ -p-p⁺ 태양전지의 특성 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
1988 .07
-
MEMS-IR SENSOR용 식각-접합-박막증착 기반공정
대한전기학회 학술대회 논문집
1998 .07
-
PECVD 이용한 비정질 실리콘형 마이크로 볼로미터 특성
반도체디스플레이기술학회지
2012 .01
-
가정용 열측정 적외선 센서의 수명 연구
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
-
비정질 실리콘 n+ -p -p+ 태양전지의 특성 연구 ( Characterization of Amorphous Silicon n+ -p -p+ Solar Cells )
대한전자공학회 학술대회
1988 .07
-
IR 센서기반의 제지공정 이상 검출 시스템 개발
제어로봇시스템학회 각 지부별 자료집
2013 .12
-
Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling
대한전자공학회 학술대회
2015 .06
-
시·공간 정렬을 이용한 다중 IR 대역 센서 모듈 시스템과 이를 이용한 이미지 융합 방법
한국자동차공학회 춘계학술대회
2019 .05
-
IR 센서와 RGB 카메라 간의 이종센서 Calibration 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
-
Downscaling Study of Uncooled a-Si Infrared Microbolometer Cell based on Simulation
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2020 .02
-
팩시밀리용 비정질 실리콘 영상센서의 제작 및 특성 ( Fabrication and Characteristics of a-Si：H Image Sensors for Facsimile )
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
-
팩시밀리용 비정질 실리콘 영상센서의 제작 및 특성
대한전자공학회 학술대회
1993 .07
-
IR Sensor에 응용되는 다층 박막의 반사 특성
대한전자공학회 학술대회
1997 .06
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0