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신규식 (전자부품연구원) 이대성 (전자부품연구원) 황학인 (전자부품연구원)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2009 대한전기학회 제40회 하계학술대회
발행연도
2009.7
수록면
1,549 - 1,550 (2page)

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본 연구에서는 적외선 가스 센서용 IR source에 대한 연구를 진행하였다. MEMS 공정을 이용하여 poly-silicon을 IR source의 발열체로 사용하였다. Chip size는 2×2㎜ 이며 me ... 전체 초록 보기

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