Electro-Thermal Modeling and Experimental Validation of Integrated Microbolometer with ROIC

Gyungtae Kim; Taehyun Kim; Hee Yeoun Kim; Yunjong Park; Hyoungho Ko

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자료유형: 학술저널

저자정보: Gyungtae Kim (National Nanofab Center) Taehyun Kim (National Nanofab Center) Hee Yeoun Kim (National Nanofab Center) Yunjong Park (Chungnam National University) Hyoungho Ko (Chungnam National University)

저널정보: 대한전자공학회 JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE Journal of Semiconductor Technology and Science Vol.16 No.3

발행연도: 2016.6

수록면: 367 - 374 (8page)

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This paper presents an electro-thermal modeling of an amorphous silicon (a-Si) uncooled microbolometer. This modeling provides a comprehensive solution for simulating the electro-thermal characteristics of the fabricated microbolometer and enables electro-thermal co-simulation between MEMS and CMOS integrated circuits. To validate this model, three types of uncooled microbolometers were fabricated using a post-CMOS surface micromachining process. The simulation results show a maximum discrepancy of 2.6% relative to the experimental results.

#Microbolometer #infrared (IR) sensor #electro-thermal modeling

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[학술대회논문] - E. Bercier / 2012 / Far Infrared Imaging Sensor for Mass Production of Night Vision and Pedestrian Detection Systems / Advanced Microsystems for Automotive Applications 2012 : 301 ~ 312

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[학술지(정기간행물)] - S. Tohyama / 2013 / Uncooled infrared detectors toward smaller pixel pitch with newly proposed pixel structure / Optical Engineering 52 (12)

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