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In this work, the nanocrystalline ZnO/polycrystalline(poly) aluminum nitride(AlN)/ Si-layered structure was fabricated for humidity sensor applications based on surface acoustic wave(SAW). The ZnO film was used as a sensitive material layer. The ZnO and AlN(0002) were deposited by a sol-gel process and a pulse reactive magnetron sputtering, respectively.
The ZnO sensitive films coated on AlN have a hexagonal wurtzite structure after the thin films annealed at 400 oC, 500 oC and 600 oC. The surface of the film exhibits sponginess and a nanometer particle size(below 50 nm). The largest shift in the frequency response was at approximately 200 kHz(the relative humidity: 10 %~ 90 %) for the structure annealed at 400 oC. The effect of the change in the environmental temperature on the frequency response of the SAW humidity sensor was also investigated.
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Hoang-Si Hong / 2009 / Effect of Thermal Annealing on the SAW Properties of AlN Films Deposited on Si Substrate / Journal of the Korean Physical Society 54 (4) : 1519 ~ 1525
R. Rimeika / 2007 / Subsecond-response SAW humidity sensor with porphyrin nanostructure deposited on bare and metallised piezoelectric substrate / Elect. Let 43 : 1047 ~ 1048
S. H. Hoang / 2009 / Surface acoustic wave characteristics of AlN thin films grown on a polycrystalline 3C-SiC buffer layer / Microelect. Eng 86 : 2149 ~ 2152
T. T. Wu / 2008 / A high sensitivity nanomaterial based SAW humidity sensor / J. Phys. D: Appl. Phys 41 : 085101(1) ~ 085101(3)
W. P. Tai / 2002 / Humidity sensing behaviors of nanocrystalline Al-doped ZnO thin films prepared by sol-gel process / J. Mater. Sci: Mater. Elect 13 : 391 ~ 394
R. Rimeika / 2007 / Subsecond-response SAW humidity sensor with porphyrin nanostructure deposited on bare and metallised piezoelectric substrate / Elect. Let 43 : 1047 ~ 1048
S. H. Hoang / 2009 / Surface acoustic wave characteristics of AlN thin films grown on a polycrystalline 3C-SiC buffer layer / Microelect. Eng 86 : 2149 ~ 2152
T. T. Wu / 2008 / A high sensitivity nanomaterial based SAW humidity sensor / J. Phys. D: Appl. Phys 41 : 085101(1) ~ 085101(3)
W. P. Tai / 2002 / Humidity sensing behaviors of nanocrystalline Al-doped ZnO thin films prepared by sol-gel process / J. Mater. Sci: Mater. Elect 13 : 391 ~ 394
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