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논문 기본 정보

자료유형
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한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제11권 제6호
발행연도
2002.1
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초기 물질은 SnCl2·2H2O와 C2H5OH를 사용하여 sol-gel 법으로 제조된 SnO2 미세 분말의 제반 물성과 전기적 센싱 특성에 대하여 검토하였다. Gel 분말은 sol을 72시간과 168시간 숙성(aging) 시킨 후 120oC에서 건조하여 제조하였다. 600oC 이하에서는 휘발성 물질이 제거되면서 SnO2 상이 증가하고, 700oC/30min 열처리로 SnO2 상 생성은 거의 완결된다. 입자 크기는 700oC 이하에서 30nm 이하로 유사하고 입도 분포도 좁았다. 전기적 성질 측정을 위한 시편은 후막법으로 알루미나 기판위에 제조하였다. 공기 중의 전도성은 450oC 부터 반도성 세라믹스의 진성(intrinsic) 거동을 보이고, 200-450oC 구간에서는 SnO2 입자 표면에서의 산소흡착에 기인해서 전도성 변화가 작았다. 환원성 CO 기체에 대한 응답성, 회복성 그리고 감도 특성은 숙성일자 증가로 향상되었다.

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