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자료유형
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한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제11권 제3호
발행연도
2002.1
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CO 기체 감지 특성을 향상시키기 위해서 3 mol% ZnO를 첨가한 SnO2와 3mol% SnO2를 첨가한 ZnO의 적층 형태를 변화시켜 연구하였다. 적층 구조는 단일층, 복층, 그리고 이종층 구조로 후막 인쇄법을 사용하여 제작하였다. SnO2-ZnO계에서 제 2상은 발견되지 않았다. 전도성은 SnO2에 ZnO를 첨가하면 감소하고, ZnO에 SnO2를 첨가하면 증가하였다. 측정 온도증가와 CO 기체 유입으로 전도성은 증가하였다. 단층 및 복층의 후막센서 구조의 감도 향상은 없었으나, SnO2·3ZnO-ZnO·3SnO2/substrate 구조의 이종층 센서의 감도는 향상되었다. 센서 구조에 관계없이 I-V 변화는 모두 직선성을 나타내서 Ohmic 접합 특성을 이루고 있었다.
#CO sensor #SnO2-ZnO system #hetero-layer #Electrical property #Ohmic contact.

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