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In this work, we optimized a microbolometer for application of a CO₂detector by using MEMS technology. Wefabricated a stable thermal isolation structure by varying the lengths of supporting legs which affect bolometerperformance. We could fabricate more stable thermal isolation structure for the microbolometer through the results ofANSYS simulations, and minimize the fabrication processes by using bulk micromachining to use a CO₂detector. Themicrobolometer shows a detectivity of 2.5×109 cmHz1/2/W at a chopper frequency of 8 Hz and a bias current of 6.25Awith a vacuum package of about 3.0×10-³ torr. Therefore, we put to conclusion that the microbolometer optimized inthis experiment could be useful for the application of a CO₂ detector.
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A.D. Parsons / 1998 / Thin-film infrared absorber structures for advanced thermal detectors / J. Vac. Sci. Technol. A 6 (3) : 1686 ~ 1689
Andreas H. / 2003 / Microfabrication techniques for chemical/biosensors / proc. of the IEEE 91 (6)
Currie, J.F. / 1999 / Micromachined thin film solid state electgrochemical CO₂, NO₂, and SO₂gas sensors / Sensors and Actuators B Chemical 59 (2/ 3) : 235 ~ 241
G-J Lee / 2004 / The diaphragmstructure using the local surface etching for the improvement of sensitivity characteristics / J. Korean Sensors Soc 13 (4) : 156 ~ 160
I.Y. Park / 2001 / Animplementation fo NDIR type CO₂ gas sample chamber and measuring hardware for capnograph system in consideration of the time response characteristics /
Andreas H. / 2003 / Microfabrication techniques for chemical/biosensors / proc. of the IEEE 91 (6)
Currie, J.F. / 1999 / Micromachined thin film solid state electgrochemical CO₂, NO₂, and SO₂gas sensors / Sensors and Actuators B Chemical 59 (2/ 3) : 235 ~ 241
G-J Lee / 2004 / The diaphragmstructure using the local surface etching for the improvement of sensitivity characteristics / J. Korean Sensors Soc 13 (4) : 156 ~ 160
I.Y. Park / 2001 / Animplementation fo NDIR type CO₂ gas sample chamber and measuring hardware for capnograph system in consideration of the time response characteristics /
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