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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국센서학회 센서학회지 센서학회지 제12권 제3호
발행연도
2003.1
수록면
1 - 111 (111page)

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Si3N4/SiO2/Si3N4 열차단막을 이용한 크로멜-알루멜(chromel-alumel) 열전(thermoelectric) 유량센서를 제작하였다. 백금 박막 히터의 저항온도계수는 약 0.00397/℃이었고, 크로멜-알루멜 열전쌍(thermocouple)의 Seebeck 계수는 약 36 ㎶/K이었다. 기체의 열전도도가 증가할수록 유량센서가 나타내는 열기전력은 감소하였으며, 히터의 온도가 증가하거나 히터와 열전쌍 사이의 간격이 감소할수록 유량센서의 N2 유량에 대한 감도는 증가하였다. 히터 전압을 약 2.5 V로 하였을 때 유량센서의 N2 유량에 대한 감도는 약 1.5 ㎷/sccm1/2이었고, 열 응답시간은 약 0.18초이었다. 크로멜-알루멜 열전 유량센서의 유량감도에 있어서 선형 범위가 Bi-Sb 유량센서의 것보다 더 넓게 나타났다.
#Chromel-alumel thermoelectric flow sensor #Si3N4/SiO2/Si3N4 thermal isolation membrane

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