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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제13권 제4호
발행연도
2006.1
수록면
65 - 70 (6page)

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CVD 및 PECVD법으로 탄소 나노튜브를 성장하고, 그 후 400∼500℃에서 산화 열처리한 센서의 이산화질소 감지특성을 200℃ 및 1.5ppm의 이산화질소 농도 하에서 측정하였다. 탄소 나노튜브 센서의 전기저항은 온도 증가에 따라 감소하는 반도체 특성을 보였으며, 이산화질소 흡착에 따라 전기저항은 감소하였다. 공기 중의 수분은 센서감도에 영향을 주고 있으며, 센서를 마이크로파에 3분간 노출하면 센서의 특성은 저하되었다. 또한 CVD법으로 제조한 시편에 비하여 PECVD법으로 성장한 탄소 나노튜브 센서의 감도는 향상 되었다.
#carbon nanotube #nitrogen dioxide #microwave #humidity #sensitivity

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/ 1994 / Enviromental Gas Sensing 20 : 95 ~ google schola / 2000 / Application of Carbon Nanotubes : 391 ~ 425 google schola / 2001 / Extreme Oxygen Sensitivity of Electronic Properties of Carbon Nanotubes 287 (1801) google schola / 2001 / Gas Adsorption in the Inside and Outside of Single Walled Carbon Nanotubes 336 (205) google schola / 2002 / High Sensitivity NO Sensors for Enviromental Monitoring Produced Using Laser Ablated Nanocrystalline Metal Oxides' B 85 (239) google schola

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