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논문 기본 정보

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저널정보
한국마이크로전자및패키징학회 마이크로전자 및 패키징학회지 마이크로전자 및 패키징학회지 제15권 제4호
발행연도
2008.1
수록면
101 - 106 (6page)

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이산화질소를 감지할 수 있는 센서물질로 Pd과 탄소 나노튜브(CNT)가 첨가된 SnO2 박막을 스핀코팅으로 제조하였으며, 동 시편의 이산화질소에 대한 감지 특성을 200oC 및 1 ppm~5 ppm의 NO2 농도 하에서 측정하였다. 센서시편의 전기저항은 NO2 기체의 노출과 농도에 따라 증가 하였으며, Pd이 3 wt%로 첨가된 시편의 감도는 26.5로 첨가전의 감도에 비하여 10배 증가하였다. 또한 SnO2 모체에 첨 가한 CNT의 량에 따라서도 감도는 증가 하였으며, 0.225 wt% CNT 첨가 시 5 ppm의 NO2 농도에서 감 도 값은 72이었다.
#sensor #sensitivity #tin oxide film #carbon nanotube #palladium #nitrogen dioxide

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A. D. Garje / 2008 / / J. Mat. Sci. Mater Electon 19 (6) : 547 ~ google schola A. M. Gaskov / 2000 / / Inor. Mat 36 (3) : 293 ~ google schola G. De. A. Licciulli / 1999 / / Sensor Actuators B 55 : 164 ~ google schola J. Kang / 2000 / / Science 287 : 622 ~ google schola O. K. Varghese / 2001 / / Sensor Actuators B 81 : 32 ~ google schola

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